LNG BOG 헬륨 수소 제조 시스템

방안 1 (2N / 5N 헬륨 가스 제조): 

LNG 이완 (BOG) 배출구에서 액화 되지 않은증기를 본 시스템에 도입하고 선행순화 유닛 처리 후 1 급 순화 유닛에 진입한다. 검측을 통해 설정한 순도에 도달한후에 3 급 순화 유닛 (수소 헬륨 분) 에 들어간다.이) 헬륨 가스 가 2N (99%) 의 순도를 측정한후에 헬륨가스 제품으로 직접사용 할 수 있다. 5N 급 (99.99%) 이 필요하지 않은공업분야에 응용 된다. 예를들어 에어컨, 냉동, 보스, 광섬유 필라멘트 냉각, 반도체 웨이퍼 냉각 등 이다. 

이 동시에 만약에 BOG에 헬륨가스 의 농도가 낮으면 헬륨가스 의 흡수율을 높이 거나 5N 급 헬륨가스를 얻기 위해 2 급 순화 유닛 (PSA) 을 추가 하고 3 급 순화 유닛에 들 어간헬륨 의 혼합기를 5N 급 까지 올릴 수 있다. 그러면 수소 헬륨을 분리하고 5N 급 헬륨가스를 직접 얻을 수 있다. 

이 시스템은 전자 급 H2 부산물을 생산할 수 있 고 순도는 6N에 달한다.본 시스템 의 회수 효율은 90% 보다 낮지 않고 구체적인 절차 도는 오른쪽 과 같다.：

방안 2 (액체 헬륨 제조) 

예를 들어 방안 1 의 공정은 LNG 이완 (BOG) 배출구에서 액화되지 않은 증기를 본 순화 와 액화 시스템에 도입 하고 선행 순화 유닛 처리를 거친후에 각각 1 급, 2 급 과 3 급 시스템을 거친후에 헬륨가스가 시스템에서 순도 (5N 급) 를 설정한후에 압력을 가해 팽창기에 들어가면 5N 급 헬륨가스가 액체헬륨 으로 액화 된다. 

이 동시에 본 시스템은 최 제품의종류를 유연하게 선택 할 수 있다. 헬륨을 응용하지 않아도 되는상황에서 5N 급 헬륨가스를 얻은후에 최종제품으로 판매 할 수 있다. 전자급 H2 (6N 급) 는 부산물로 추가 판매 할 수 있다. 

본 시스템 의 회수효율은 90% 보다 낮지않고 구체적인 절차 도는 오른쪽 과 같다.：

검사업에 헬륨가스 의 회수 순화 시스템.

He 분자가 매우 작고 (H2에 버금가 는) 화학 타성 (H2 보다 안전하다) 을 가진다. 그래서 약 6% 의 He는 검누업계에 응용 된다. 예를 들어 헬륨 검사, 헬륨 가스 검사 등 이다. 

에어컨 업계 헬륨가스로 검사을 예로들자.에어컨 의 '두 개의 기기' 는 바로 증발기 와 응축기 로 에어컨 의 두가지 매우 중요한 부품 이고 He로 누출을 검사하는 공정이 있다.효율 과 품질에 대한 통제를 확보하기 위해서는 He 의 농도가 80% 이상 (부분공장 의 75%) 을 유지해 야 한다.그러나 누출을 검사하는 과정에서 시스템 의 밀폐성 불량, 누설검사 절차 의 고유결함 과 인공작업의 불규칙성 등 요소로 인해많 거나적게는 공기에 섞여서 He 농도가 떨어진다.일반적으로 He 농도가 80% 이하 일 경우부분 또는 전부 He를 배출하는동시에 고순도 He를 보충한다. 

본 방안은 BOG 헬륨 의 1 급 순화설비를 이용하여 에어컨 업계 의 He 회수, 순화에 대한 소형화컴팩트 시스템으로 바꾸면  He전체절약 40 - 50% 를 실현 할 수 있다. 

범 반도체 산업 수소회수 순환 시스템

LED MOCVD 의 외연 공예 로 예를 들면. 

LED 에서MOCVD 외연 프로세스의 배기가스 배출구는 배기가스 를 본순화시스템에 도입하고 배기가스는 초급처리를 거친후에 1 급 순화 유닛에 진입한다수요에 따라 6N (99.99%) 순도로 순화된 다음에 MOCVD 시스템 앞에 있는 H2 순화기에 직접 접속한 다음에 MOCVD 공정 기구에 들가서 사용한다. 

위와 같이 순환되고 매번순환되는 회수효율이 90% 보다 낮지 않으며 흐름 도는 오른쪽 과 같다.